[Effect of technological parameters of sputtering on the microstructure of silicon film investigated by Raman analysis].

Tian, Gui; Zhu, Jia-qi; Han, Jie-cai; Jiang, Chun-zhu; Jia, Ze-chun.

Afiliação

Tian G; Center for Composite Materials and Structure, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, China. tiangui2009@gmail.com

Guang Pu Xue Yu Guang Pu Fen Xi ; 30(7): 1793-7, 2010 Jul.

Article em Zh | MEDLINE | ID: mdl-20827972

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Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: Zh Ano de publicação: 2010 Tipo de documento: Article

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