Capacitive displacement sensor for detecting planar submicrometer motion.

Avramov-Zamurovic, Svetlana; Yoo, Jae Myung; Dagalakis, Nicholas G

Avramov-Zamurovic, Svetlana; Yoo, Jae Myung; Dagalakis, Nicholas G.

Afiliação

Avramov-Zamurovic S; Weapons and System Department United States Naval Academy, 105 Maryland Avenue, Annapolis, Maryland 21402, USA.
Yoo JM; Applied Materials, Santa Clara, California 95054, USA.
Dagalakis NG; Intelligent System Division, Engineering Laboratory, National Institute of Standards and Technology, 100 Bureau Dr., Gaithersburg, Maryland 20899, USA.

Rev Sci Instrum ; 87(6): 065001, 2016 Jun.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-27370483

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