Phase retrieval of the full vectorial field applied to coherent Fourier scatterometry. | Opt Express;25(24): 29574-29586, 2017 Nov 27. | MEDLINE

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Phase retrieval of the full vectorial field applied to coherent Fourier scatterometry.

Xu, Xiaosi; Konijnenberg, A P; Pereira, S F; Urbach, H P.

Opt Express ; 25(24): 29574-29586, 2017 Nov 27.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-29220995

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2017 Tipo de documento: Article

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