Trimming of silicon ring resonator by electron beam induced compaction and strain. | Opt Express;16(6): 3738-43, 2008 Mar 17. | MEDLINE

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Trimming of silicon ring resonator by electron beam induced compaction and strain.

Schrauwen, J; Van Thourhout, D; Baets, R.

Schrauwen J; Photonics Research Group, Department of Information Technology, Ghent University - IMEC, B-9000 Gent, Belgium. jonathan.schrauwen@intec.ugent.be

Opt Express ; 16(6): 3738-43, 2008 Mar 17.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-18542468

Asunto(s)

Diseño de Equipo/métodos; Óptica y Fotónica/instrumentación; Silicio/química; Silicio/efectos de la radiación; Elasticidad; Electrones; Análisis de Falla de Equipo; Ensayo de Materiales; Estrés Mecánico

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Banco de datos: MEDLINE Asunto principal: Silicio / Diseño de Equipo / Óptica y Fotónica Idioma: En Año: 2008 Tipo del documento: Article

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