Trimming of silicon ring resonator by electron beam induced compaction and strain.
Opt Express
; 16(6): 3738-43, 2008 Mar 17.
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| ID: mdl-18542468
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Banco de datos:
MEDLINE
Asunto principal:
Silicio
/
Diseño de Equipo
/
Óptica y Fotónica
Idioma:
En
Año:
2008
Tipo del documento:
Article