Hard X-ray microbeam lithography using a Fresnel zone plate with a long focal length.

Lee, S Y; Cho, I H; Kim, J M; Kang, H C; Noh, D Y.

Lee SY; School of Materials Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology, Gwangju 500-712, Korea.

J Synchrotron Radiat ; 18(Pt 2): 143-7, 2011 Mar.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-21335899

Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Año: 2011 Tipo del documento: Article

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