Air-gap structure between integrated LiNbO3 optical modulators and micromachined Si substrates.

Takigawa, Ryo; Higurashi, Eiji; Suga, Tadatomo; Kawanishi, Tetsuya.

Takigawa R; Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Tokyo, 113-8656, Japan. takigawa.ryo@su.t.u-tokyo.ac.jp

Opt Express ; 19(17): 15739-49, 2011 Aug 15.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-21934936

Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Año: 2011 Tipo del documento: Article

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