Plasma-enhanced chemical vapor deposition of ortho-carborane: structural insights and interaction with Cu overlayers. | J Phys Condens Matter;25(35): 355004, 2013 Sep 04. | MEDLINE

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Plasma-enhanced chemical vapor deposition of ortho-carborane: structural insights and interaction with Cu overlayers.

James, Robinson; Pasquale, Frank L; Kelber, Jeffry A.

James R; Department of Chemistry and Center for Electronic Materials Processing and Integration, 1155 Union Circle #305070, University of North Texas, Denton, TX 76203, USA.

J Phys Condens Matter ; 25(35): 355004, 2013 Sep 04.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-23883590

Asunto(s)

Compuestos Inorgánicos de Carbono/química; Cobre/química; Membranas Artificiales; Gases em Plasma/química; Adsorción; Difusión; Ensayo de Materiales

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Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Asunto principal: Compuestos Inorgánicos de Carbono / Cobre / Gases em Plasma / Membranas Artificiales Idioma: En Año: 2013 Tipo del documento: Article

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