An experimental study on fabricating an inverted mesa-type quartz crystal resonator using a cheap wet etching process.

Liang, Jinxing; Huang, Jia; Zhang, Tian; Zhang, Jing; Li, Xuefeng; Ueda, Toshitsugu

Liang, Jinxing; Huang, Jia; Zhang, Tian; Zhang, Jing; Li, Xuefeng; Ueda, Toshitsugu.

Liang J; Key Laboratory of Micro-Inertial Instrument and Advanced Navigation Technology, Ministry of Education, School of Instrument Science and Engineering, Southeast University, Nanjing 210096, China. j-liang@seu.edu.cn.

Sensors (Basel) ; 13(9): 12140-8, 2013 Sep 10.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-24025559

Asunto(s)

Técnicas Biosensibles/instrumentación; Técnicas de Química Analítica/instrumentación; Sistemas Microelectromecánicos/instrumentación; Transductores; Diseño de Equipo; Análisis de Falla de Equipo; Miniaturización; Reproducibilidad de los Resultados; Sensibilidad y Especificidad; Agua/química

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Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Asunto principal: Transductores / Técnicas Biosensibles / Técnicas de Química Analítica / Sistemas Microelectromecánicos Tipo de estudio: Diagnostic_studies Idioma: En Año: 2013 Tipo del documento: Article

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