Reduction of the scanning time by total variation minimization reconstruction for X-ray tomography in a SEM.

Laloum, D; Printemps, T; Sanchez, D F; Lorut, F; Audoit, G; Bleuet, P.

Laloum D; University Grenoble Alpes, Grenoble, France; CEA, LETI, MINATEC Campus, Grenoble, Cedex 9, France; STMicroelectronics, Crolles, France.

J Microsc ; 256(2): 90-9, 2014 Nov.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-25131954

Palabras clave

3D integration; Copper pillar; TSV; X-ray; tomography; total variation minimization

Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Año: 2014 Tipo del documento: Article

Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Año: 2014 Tipo del documento: Article