Flow sensor based on the snap-through detection of a curved micromechanical beam.
J Microelectromech Syst
; 272018.
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en En
| MEDLINE
| ID: mdl-31274970
Texto completo:
1
Banco de datos:
MEDLINE
Tipo de estudio:
Diagnostic_studies
/
Prognostic_studies
Idioma:
En
Año:
2018
Tipo del documento:
Article