Nondestructive, high-resolution, chemically specific 3D nanostructure characterization using phase-sensitive EUV imaging reflectometry.
Sci Adv
; 7(5)2021 Jan.
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| ID: mdl-33571123
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1
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MEDLINE
Tipo de estudio:
Diagnostic_studies
Idioma:
En
Año:
2021
Tipo del documento:
Article