Corrigendum: Reaction mechanism of atomic layer deposition of zirconium oxide using zirconium precursors bearing amino ligands and water.
Front Chem
; 10: 1118819, 2022.
Article
en En
| MEDLINE
| ID: mdl-36605119
ABSTRACT
[This corrects the article DOI 10.3389/fchem.2022.1035902.].
Texto completo:
1
Banco de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Año:
2022
Tipo del documento:
Article