Low-temperature MoS<sub>2</sub> growth on CMOS wafers.

Low-temperature MoS₂ growth on CMOS wafers.

Lemme, Max C; Daus, Alwin.

Lemme MC; Chair of Electronic Devices, RWTH Aachen University, Aachen, Germany. max.lemme@eld.rwth-aachen.de.
Daus A; AMO GmbH, Aachen, Germany.

Nat Nanotechnol ; 18(5): 446-447, 2023 May.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-37106054

Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Año: 2023 Tipo del documento: Article

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