High-performance Mo-Si multilayer coatings for extreme-ultraviolet lithography by ion-beam deposition.

Spiller, Eberhard; Baker, Sherry L; Mirkarimi, Paul B; Sperry, Victor; Gullikson, Eric M; Stearns, Daniel G.

Afiliação

Spiller E; Lawrence Livermore National Laboratory, P.O. Box 808, Livermore, California 94551, USA. spiller@llnl.gov

Appl Opt ; 42(19): 4049-58, 2003 Jul 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-12868847

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Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2003 Tipo de documento: Article

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