Simulation of sputter-induced roughness for depth profiling of thin film structures.

Wöhner, T; Ecke, G; Rössler, H; Hofmann, S.

Afiliação

Wöhner T; TU Ilmenau, Institut für Festkörperelektronik, PF 327, D-98684, Ilmenau, Germany.

Anal Bioanal Chem ; 353(3-4): 447-9, 1995 Oct.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-15048516

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Base de dados: MEDLINE Tipo de estudo: Prognostic_studies Idioma: En Ano de publicação: 1995 Tipo de documento: Article

Base de dados: MEDLINE Tipo de estudo: Prognostic_studies Idioma: En Ano de publicação: 1995 Tipo de documento: Article