Fabrication and characterization of high-quality-factor silicon nitride nanobeam cavities. | Opt Lett;36(3): 421-3, 2011 Feb 01. | MEDLINE

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Fabrication and characterization of high-quality-factor silicon nitride nanobeam cavities.

Khan, Mughees; Babinec, Thomas; McCutcheon, Murray W; Deotare, Parag; Loncar, Marko.

Afiliação

Khan M; School of Engineering and Applied Sciences, Harvard University, Cambridge, Massachusetts 02138, USA. mkhan@seas.harvard.edu

Opt Lett ; 36(3): 421-3, 2011 Feb 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-21283210

Assuntos

Nanotecnologia/métodos; Compostos de Silício; Microscopia Confocal; Fótons

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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Compostos de Silício / Nanotecnologia Idioma: En Ano de publicação: 2011 Tipo de documento: Article

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