On-chip stress relaxation testing method for freestanding thin film materials.

Coulombier, M; Guisbiers, G; Colla, M-S; Vayrette, R; Raskin, J-P; Pardoen, T.

Afiliação

Coulombier M; Institute of Mechanics, Materials and Civil Engineering, Université catholique de Louvain, 1348 Louvain-la-Neuve, Belgium.

Rev Sci Instrum ; 83(10): 105004, 2012 Oct.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-23126797

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2012 Tipo de documento: Article

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