Ion beam lithography for Fresnel zone plates in X-ray microscopy.

Keskinbora, Kahraman; Grévent, Corinne; Bechtel, Michael; Weigand, Markus; Goering, Eberhard; Nadzeyka, Achim; Peto, Lloyd; Rehbein, Stefan; Schneider, Gerd; Follath, Rolf; Vila-Comamala, Joan; Yan, Hanfei; Schütz, Gisela

Keskinbora, Kahraman; Grévent, Corinne; Bechtel, Michael; Weigand, Markus; Goering, Eberhard; Nadzeyka, Achim; Peto, Lloyd; Rehbein, Stefan; Schneider, Gerd; Follath, Rolf; Vila-Comamala, Joan; Yan, Hanfei; Schütz, Gisela.

Afiliação

Keskinbora K; Max Planck Institute for Intelligent Systems, Heisenbergstr 3, 70569 Stuttgart, Germany.

Opt Express ; 21(10): 11747-56, 2013 May 20.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-23736396

Assuntos

Íons Pesados; Microscopia/instrumentação; Fotografação/instrumentação; Refratometria/instrumentação; Difração de Raios X/instrumentação; Desenho de Equipamento; Análise de Falha de Equipamento

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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Refratometria / Difração de Raios X / Fotografação / Íons Pesados / Microscopia Idioma: En Ano de publicação: 2013 Tipo de documento: Article

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