Silicon nitride based plasmonic components for CMOS back-end-of-line integration. | Opt Express;21(20): 23376-90, 2013 Oct 07. | MEDLINE

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Silicon nitride based plasmonic components for CMOS back-end-of-line integration.

Zhu, Shiyang; Lo, G Q; Kwong, D L.

Opt Express ; 21(20): 23376-90, 2013 Oct 07.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-24104251

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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Tipo de estudo: Prognostic_studies Idioma: En Ano de publicação: 2013 Tipo de documento: Article

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