Does your SEM really tell the truth? How would you know? Part 2.

Postek, Michael T; Vladár, András E; Purushotham, Kavuri P.

Afiliação

Postek MT; Semiconductor and Dimensional Metrology Division, Physical Measurement Laboratory, National Institute of Standards and Technology (NIST), Gaithersburg, Maryland.

Scanning ; 36(3): 347-55, 2014.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-24166540

Palavras-chave

SEM; calibration; contamination; measurements; metrology; modeling; reference material; scanning electron microscope; standards

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2014 Tipo de documento: Article

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