Top-down silicon microcantilever with coupled bottom-up silicon nanowire for enhanced mass resolution.

Vidal-Álvarez, Gabriel; Agustí, Jordi; Torres, Francesc; Abadal, Gabriel; Barniol, Núria; Llobet, Jordi; Sansa, Marc; Fernández-Regúlez, Marta; Pérez-Murano, Francesc; San Paulo, Álvaro; Gottlieb, Oded.

Afiliação

Vidal-Álvarez G; Departament d'Enginyeria Electrònica, Universitat Autònoma de Barcelona, 08193, Cerdanyola del Vallès, Spain.

Nanotechnology ; 26(14): 145502, 2015 Apr 10.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-25786069

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2015 Tipo de documento: Article

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