Hard Transparent Arrays for Polymer Pen Lithography.

Hedrick, James L; Brown, Keith A; Kluender, Edward J; Cabezas, Maria D; Chen, Peng-Cheng; Mirkin, Chad A

Hedrick, James L; Brown, Keith A; Kluender, Edward J; Cabezas, Maria D; Chen, Peng-Cheng; Mirkin, Chad A.

Afiliação

Brown KA; Department of Mechanical Engineering and Division of Materials Science & Engineering, Boston University , 110 Cummington Mall, Boston, Massachusetts 02215, United States.

ACS Nano ; 10(3): 3144-8, 2016 Mar 22.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-26928012

Assuntos

Dimetilpolisiloxanos/química; Nanoestruturas/química; Nanotecnologia/métodos; Microscopia de Força Atômica; Nanoestruturas/ultraestrutura; Gases em Plasma/química; Impressão/métodos; Dióxido de Silício/química; Volatilização

Palavras-chave

atomic force microscopy; dip-pen nanolithography; plasma-enhanced chemical vapor deposition; polydimethylsiloxane; polymer pen lithography; scanning probe lithography

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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Nanotecnologia / Nanoestruturas / Dimetilpolisiloxanos Idioma: En Ano de publicação: 2016 Tipo de documento: Article

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