A new method to integrate ZnO nano-tetrapods on MEMS micro-hotplates for large scale gas sensor production.

Marasso, S L; Tommasi, A; Perrone, D; Cocuzza, M; Mosca, R; Villani, M; Zappettini, A; Calestani, D.

Afiliação

Marasso SL; IMEM-CNR, Parco Area delle Scienze 37/A, Parma-43124 Italy. Chilab-Materials and Microsystems Laboratory, DISAT, Politecnico di Torino, Via Lungo Piazza d'Armi 6, Chivasso, Torino-10034 Italy.

Nanotechnology ; 27(38): 385503, 2016 Sep 23.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-27532770

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2016 Tipo de documento: Article

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