Does Your SEM Really Tell the Truth?-How Would You Know? Part 4: Charging and its Mitigation. | Proc SPIE Int Soc Opt Eng;96362015. | MEDLINE

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Does Your SEM Really Tell the Truth?-How Would You Know? Part 4: Charging and its Mitigation.

Postek, Michael T; Vladár, András E.

Afiliação

Postek MT; Semiconductor and Dimensional Metrology Division, National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899 USA.
Vladár AE; Semiconductor and Dimensional Metrology Division, National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899 USA.

Proc SPIE Int Soc Opt Eng ; 96362015.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-28663665

Palavras-chave

SEM; calibration; charging; measurements; metrology; modelling; reference materials; scanning electron microscope; standards

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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2015 Tipo de documento: Article

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