Dual-line fabrication method in direct laser lithography to reduce the manufacturing time of diffractive optics elements.
Opt Express
; 25(3): 1636-1645, 2017 Feb 06.
Article
em En
| MEDLINE
| ID: mdl-29519018
Texto completo:
1
Base de dados:
MEDLINE
Idioma:
En
Ano de publicação:
2017
Tipo de documento:
Article