Patterning of diamond with 10 nm resolution by electron-beam-induced etching.

Dergianlis, Vasilis; Geller, Martin; Oing, Dennis; Wöhrl, Nicolas; Lorke, Axel.

Afiliação

Dergianlis V; University of Duisburg-Essen, Faculty of Physics and CENIDE, D-47057 Duisburg, Germany.

Nanotechnology ; 30(36): 365302, 2019 Sep 06.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-31151124

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2019 Tipo de documento: Article

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