Microscale BTS sculptured by electron beam. | Appl Microsc;49(1): 4, 2019 Apr 29. | MEDLINE

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Microscale BTS sculptured by electron beam.

Choi, Haneul; Jeong, Young Woo; Chang, Hye Jung.

Afiliação

Choi H; Advanced Analysis Center, Korea Institute of Science and Technology, Seoul, 02792, Republic of Korea.
Jeong YW; Advanced Analysis Center, Korea Institute of Science and Technology, Seoul, 02792, Republic of Korea.
Chang HJ; Advanced Analysis Center, Korea Institute of Science and Technology, Seoul, 02792, Republic of Korea. almacore@kist.re.kr.

Appl Microsc ; 49(1): 4, 2019 Apr 29.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-33580273

Palavras-chave

Electron microscope; Focused ion beam; Patterning

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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2019 Tipo de documento: Article

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