Ductile-brittle coupled cutting of a single-crystal silicon by ultrasonic assisted diamond turning.
Opt Express
; 29(15): 23847-23863, 2021 Jul 19.
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em En
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| ID: mdl-34614642
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Tipo de estudo:
Prognostic_studies
Idioma:
En
Ano de publicação:
2021
Tipo de documento:
Article