Phase noise estimation based white light scanning interferometry for high-accuracy surface profiling.

Ma, Long; Zhao, Yuan; Pei, Xin; Liu, Yu-Zhe; Sun, Feng-Ming; Wu, Sen.

Opt Express ; 30(7): 11912-11922, 2022 Mar 28.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-35473124

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2022 Tipo de documento: Article

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