Affordable Open-Source Quartz Microbalance Platform for Measuring the Layer Thickness.

Matusiak, Adrian; Zak, Andrzej Marek.

Afiliação

Matusiak A; Faculty of Mechanical Engineering, Wroclaw University of Science and Technology, 50-371 Wroclaw, Poland.
Zak AM; Nanores Sp. z o. o. Sp. k., 51-317 Wroclaw, Poland.

Sensors (Basel) ; 22(17)2022 Aug 25.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-36080879

Palavras-chave

FTM; QCM; evaporation; film thickness monitor; sputtering

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2022 Tipo de documento: Article

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