Formation and Properties of Thermistor Chips Based on Semiconductor 3D Metal Oxide Films Obtained by RF-Magnetron Sputtering.

Novozhilov, Valery; Belov, Alexey

Novozhilov, Valery; Belov, Alexey.

Afiliação

Novozhilov V; Research Institute of Physics and Technology, National Research Lobachevsky State University of Nizhny Novgorod, 603022 Nizhny Novgorod, Russia.
Belov A; Research Institute of Physics and Technology, National Research Lobachevsky State University of Nizhny Novgorod, 603022 Nizhny Novgorod, Russia.

Int J Mol Sci ; 24(1)2023 Jan 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-36614185

Assuntos

Cerâmica; Filmes Cinematográficos; Condutividade Elétrica; Óxidos; Semicondutores

Palavras-chave

RF-magnetron sputtering; electrical properties; spinel films; thermistor

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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Cerâmica / Filmes Cinematográficos Idioma: En Ano de publicação: 2023 Tipo de documento: Article

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