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Multiple-Degree-of-Freedom Modeling and Simulation for Seismic-Grade Sigma-Delta MEMS Capacitive Accelerometers.
Wang, Xuefeng; Zhang, Penghao; Ding, Shijin.
Afiliação
  • Wang X; State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433, China.
  • Zhang P; State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433, China.
  • Ding S; State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433, China.
Sensors (Basel) ; 23(12)2023 Jun 07.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-37420559
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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Sistemas Microeletromecânicos Idioma: En Ano de publicação: 2023 Tipo de documento: Article
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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Sistemas Microeletromecânicos Idioma: En Ano de publicação: 2023 Tipo de documento: Article