Sub-nanometer scale depth patterning on sapphire crystal by femtosecond soft x-ray laser pulse irradiation.

Mikami, Katsuhiro; Ishino, Masahiko; Motoyama, Hiroto; Dinh, Thanh-Hung; Yokomae, Shunya; Yamaguchi, Gota; Egawa, Satoru; Sakaue, Kazuyuki; Mimura, Hidekazu; Higashiguchi, Takeshi; Kubota, Yuya; Owada, Shigeki; Iwasaki, Atsushi; Inubushi, Yuichi; Nishikino, Masaharu.

Opt Lett ; 48(19): 5041-5044, 2023 Oct 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-37773380

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2023 Tipo de documento: Article

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