Growth of silicon nanoclusters on different substrates by plasma enhanced chemical vapor deposition.
J Nanosci Nanotechnol
; 6(12): 3752-5, 2006 Dec.
Article
em En
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| ID: mdl-17256325
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Coleções:
01-internacional
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Assunto principal:
Silanos
/
Silício
/
Cristalização
/
Nanotecnologia
/
Nanoestruturas
Idioma:
En
Ano de publicação:
2006
Tipo de documento:
Article