Process for deposition of AlF3 thin films.

Liao, Bo-Huei; Liu, Ming-Chung; Lee, Cheng-Chung.

Afiliação

Liao BH; Department of Optics and Photonics, Thin Film Technology Center, National Central University, Chung-Li 320, Taiwan.

Appl Opt ; 47(13): C41-5, 2008 May 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-18449269

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Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2008 Tipo de documento: Article

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