A lateral-field-excited LiTaO3 high-frequency bulk acoustic wave sensor.

McCann, Donald F; McGann, Jason M; Parks, Jesse M; Frankel, David J; da Cunha, Mauricio Pereira; Vetelino, John F

McCann, Donald F; McGann, Jason M; Parks, Jesse M; Frankel, David J; da Cunha, Mauricio Pereira; Vetelino, John F.

Afiliação

McCann DF; Laboratory for Surface Science and Technology, University of Maine, Orono, ME, USA. donald.mccann@umit.maine.edu

IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control ; 56(4): 779-87, 2009 Apr.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-19406706

Assuntos

Acústica/instrumentação; Lítio/química; Sistemas Microeletromecânicos/instrumentação; Óxidos/química; Tantálio/química; Transdutores; Desenho de Equipamento; Análise de Falha de Equipamento

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Óxidos / Tantálio / Transdutores / Acústica / Sistemas Microeletromecânicos / Lítio Idioma: En Ano de publicação: 2009 Tipo de documento: Article

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