3D visualization of mold filling stages in thermal nanoimprint by white light interferometry and atomic force microscopy. | Nanotechnology;20(35): 355301, 2009 Sep 02. | MEDLINE

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3D visualization of mold filling stages in thermal nanoimprint by white light interferometry and atomic force microscopy.

Schift, Helmut; Kim, Geehong; Lee, Jaejong; Gobrecht, Jens.

Afiliação

Schift H; Laboratory for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Institut, 5232 Villigen PSI, Switzerland. helmut.schift@psi.ch

Nanotechnology ; 20(35): 355301, 2009 Sep 02.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-19671962

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2009 Tipo de documento: Article

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