Fabrication of 3D nano-structures using reverse imprint lithography.

Han, Kang-Soo; Hong, Sung-Hoon; Kim, Kang-In; Cho, Joong-Yeon; Choi, Kyung-Woo; Lee, Heon

Han, Kang-Soo; Hong, Sung-Hoon; Kim, Kang-In; Cho, Joong-Yeon; Choi, Kyung-Woo; Lee, Heon.

Afiliação

Han KS; Department of Materials Science and Engineering, Korea University, Anam-Dong 5-1, Sungbuk-Ku, Seoul, Korea.

Nanotechnology ; 24(4): 045304, 2013 Feb 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-23291434

Assuntos

Cristalização/métodos; Iluminação/instrumentação; Impressão Molecular/métodos; Nanoestruturas/química; Nanoestruturas/ultraestrutura; Fotografação/métodos; Semicondutores; Desenho de Equipamento; Análise de Falha de Equipamento; Tamanho da Partícula

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Semicondutores / Iluminação / Fotografação / Cristalização / Nanoestruturas / Impressão Molecular Idioma: En Ano de publicação: 2013 Tipo de documento: Article

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