Nanoimprint lithography with a focused laser beam for the fabrication of nanopatterned microchannel molds.
Lab Chip
; 13(16): 3188-91, 2013 Aug 21.
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em En
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Assunto principal:
Impressão
/
Nanotecnologia
/
Técnicas Analíticas Microfluídicas
/
Lasers
Idioma:
En
Ano de publicação:
2013
Tipo de documento:
Article