Iridium-coated micropore x-ray optics using dry etching of a silicon wafer and atomic layer deposition. | Appl Opt;52(24): 5949-56, 2013 Aug 20. | MEDLINE

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Iridium-coated micropore x-ray optics using dry etching of a silicon wafer and atomic layer deposition.

Ogawa, Tomohiro; Ezoe, Yuichiro; Moriyama, Teppei; Mitsuishi, Ikuyuki; Kakiuchi, Takuya; Ohashi, Takaya; Mitsuda, Kazuhisa; Putkonen, Matti.

Appl Opt ; 52(24): 5949-56, 2013 Aug 20.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-24084996

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2013 Tipo de documento: Article

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