Fractional Talbot lithography with extreme ultraviolet light.
Opt Lett
; 39(24): 6969-72, 2014 Dec 15.
Article
em En
| MEDLINE
| ID: mdl-25503043
Texto completo:
1
Coleções:
01-internacional
Base de dados:
MEDLINE
Idioma:
En
Ano de publicação:
2014
Tipo de documento:
Article