Fabrication of high aspect ratio tungsten nanostructures on ultrathin c-Si membranes for extreme UV applications. | Nanotechnology;27(2): 025304, 2016 Jan 15. | MEDLINE

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Fabrication of high aspect ratio tungsten nanostructures on ultrathin c-Si membranes for extreme UV applications.

Delachat, F; Le Drogoff, B; Constancias, C; Delprat, S; Gautier, E; Chaker, M; Margot, J.

Afiliação

Delachat F; Université de Montréal, C.P. 6128, Montréal, QC H3C 3J7, Canada. INRS-EMT, 1650 Boul. Lionel-Boulet, Varennes, Québec J3X 1S2, Canada.

Nanotechnology ; 27(2): 025304, 2016 Jan 15.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-26630379

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2016 Tipo de documento: Article

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