Linear chirped slope profile for spatial calibration in slope measuring deflectometry.

Siewert, F; Zeschke, T; Arnold, T; Paetzelt, H; Yashchuk, V V

Siewert, F; Zeschke, T; Arnold, T; Paetzelt, H; Yashchuk, V V.

Afiliação

Siewert F; Helmholtz Zentrum Berlin für Materialien und Energie, Institut für Nanometer Optik und Technologie, Albert-Einstein-Str. 15, 12489 Berlin, Germany.
Zeschke T; Helmholtz Zentrum Berlin für Materialien und Energie, Institut für Nanometer Optik und Technologie, Albert-Einstein-Str. 15, 12489 Berlin, Germany.
Arnold T; Leibnitz Institut für Oberflächen Modifizierung Leipzig e.V., IOM, Permoserstr. 15, 04318 Leipzig, Germany.
Paetzelt H; Leibnitz Institut für Oberflächen Modifizierung Leipzig e.V., IOM, Permoserstr. 15, 04318 Leipzig, Germany.
Yashchuk VV; Lawerence Berkeley National Laboratory, Advanced Light Source, 1 Cyclotron Road, Berkeley, California 94720, USA.

Rev Sci Instrum ; 87(5): 051907, 2016 05.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-27250379

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Tipo de estudo: Prognostic_studies Idioma: En Ano de publicação: 2016 Tipo de documento: Article

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