Atom probe tomographic assessment of the distribution of germanium atoms implanted in a silicon matrix through nano-apertures. | Nanotechnology;28(38): 385301, 2017 Sep 20. | MEDLINE

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Atom probe tomographic assessment of the distribution of germanium atoms implanted in a silicon matrix through nano-apertures.

Tu, Y; Han, B; Shimizu, Y; Inoue, K; Fukui, Y; Yano, M; Tanii, T; Shinada, T; Nagai, Y.

Afiliação

Tu Y; Institute for Materials Research, Tohoku University, Oarai, Ibaraki 311-1313, Japan.

Nanotechnology ; 28(38): 385301, 2017 Sep 20.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-28699622

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2017 Tipo de documento: Article

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