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Reliability of a MEMS Actuator Improved by Spring Corner Designs and Reshaped Driving Waveforms.
Hsieh, Hsin-Ta; Su, Guo-Dung John.
Afiliação
  • Hsieh HT; Institute of Photonics and Optoelectronics, National Taiwan University, 1, Roosevelt Road, Section 4, Taipei, Taiwan. r93941031@ntu.edu.tw.
  • Su GJ; Institute of Photonics and Optoelectronics, National Taiwan University, 1, Roosevelt Road, Section 4, Taipei, Taiwan. gdjsu@cc.ee.ntu.edu.tw.
Sensors (Basel) ; 7(9): 1720-1730, 2007 Sep 03.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-28903193
Palavras-chave
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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2007 Tipo de documento: Article
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