Integrating graphene into semiconductor fabrication lines. | Nat Mater;18(6): 525-529, 2019 06. | MEDLINE

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Integrating graphene into semiconductor fabrication lines.

Neumaier, Daniel; Pindl, Stephan; Lemme, Max C.

Afiliação

Neumaier D; AMO GmbH, Aachen, Germany. neumaier@amo.de.
Pindl S; Infineon Technologies AG, Regensburg, Germany.
Lemme MC; AMO GmbH, Aachen, Germany.

Nat Mater ; 18(6): 525-529, 2019 06.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-31114067

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2019 Tipo de documento: Article

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