High-Power-Efficiency Readout Circuit Employing Average Capacitance-to-Voltage Converter for Micro-Electro-Mechanical System Capacitive Accelerometers.

Li, Linxi; Lai, Xinquan; Wang, Yuheng; Niu, Zhiwen

Li, Linxi; Lai, Xinquan; Wang, Yuheng; Niu, Zhiwen.

Afiliação

Li L; School of Electronic Engineering, Xidian University, Xi'an 710071, China.
Lai X; Shenzhen Changyuntong Semiconductor Co., Ltd., Shenzhen 518133, China.
Wang Y; School of Electronic Engineering, Xidian University, Xi'an 710071, China.
Niu Z; College of Electronics Information, Qingdao University, Qingdao 266071, China.

Sensors (Basel) ; 23(20)2023 Oct 18.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-37896639

Palavras-chave

MEMS accelerometer; capacitance-to-voltage converter; capacitive; high power efficiency; low noise; low power; readout circuit

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