Quantification of Unsupported Thin-Film X-ray Spectra Using Bulk Standards.

Ritchie, Nicholas W M; Herzing, Andrew; Oleshko, Vladimir P

Ritchie, Nicholas W M; Herzing, Andrew; Oleshko, Vladimir P.

Afiliação

Ritchie NWM; National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899, USA.
Herzing A; National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899, USA.
Oleshko VP; National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899, USA.

Microsc Microanal ; 29(6): 1921-1930, 2023 Dec 21.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-37950609

Palavras-chave

NIST DTSA-II software; STEM-in-SEM; bulk standards; energy-dispersive spectrometry (EDS); quantitative electron-excited X-ray microanalysis; thickness; thin films

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