Speciation of BC(x)N(y) films grown by PECVD with trimethylborazine precursor. | Anal Bioanal Chem;395(6): 1901-9, 2009 Nov. | MEDLINE

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Speciation of BC(x)N(y) films grown by PECVD with trimethylborazine precursor.

Baake, Olaf; Hoffmann, Peter S; Klein, Andreas; Pollakowski, Beatrix; Beckhoff, Burkhard; Kosinova, Marina L; Fainer, Nadeshda I; Sulyaeva, Veronica S; Trunova, Valentina A; Ensinger, Wolfgang.

Afiliação

Baake O; Department of Materials Science, Technische Universität Darmstadt, Petersenstr. 23, 64287 Darmstadt, Germany.

Anal Bioanal Chem ; 395(6): 1901-9, 2009 Nov.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-19714320

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Anal Bioanal Chem Ano de publicação: 2009 Tipo de documento: Article País de afiliação: Alemanha País de publicação: Alemanha

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