Time-of-flight detection of femtosecond laser pulses for precise measurement of large microelectronic step height.
Opt Lett
; 43(7): 1447-1450, 2018 Apr 01.
Article
em En
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| ID: mdl-29601001
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1
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MEDLINE
Tipo de estudo:
Diagnostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Opt Lett
Ano de publicação:
2018
Tipo de documento:
Article
País de publicação:
Estados Unidos